Microsystèmes

Le cours (4 séances de 2h) comprend une présentation générale des microsystèmes, une présentation des technologies mises en oeuvre et une ouverture vers les nano-sciences et les nano-technologies. Une présentation individuelle (en binômes) sur un thème choisi permet à chacun d'approfondir un sujet devant le groupe, la présentation se termine par un échange avec le groupe (2 séances). L'ensemble donne lieu à évaluation.

Notion de circuits intégrés. Electricité, mécanique, optique, thermique, de niveau CPGE

LES MICROSYSTEMES
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Sommaire

L'UNIVERS DES MICROSYSTEMES
Introduction (définition, historique, exemple, le marché)
Vers la miniaturisation (exemple, pourquoi, l'idée)
Microsystème et micro technologies
Les dimensions
Un composant à part entière
Microsystèmes et interdisciplinarité
Structure d'un microsystème
Quelques dates importantes
Exemples
Accéléromètres
Optique adaptative
Imprimante jet d'encre
Distributeur d'insuline
Lab on chip
Biopuce à ADN
Le marché-Données économiques
Répartition
L'automobile
Le médical
Evolution
Activité industrielle
Bibliographie

TECHNOLOGIE DES MICROSYSTEMES
Séquence de fabrication
Spécificités
Lithographie
Alignements double face
Gravure
Micro usinage de volume
Micro usinage de surface
Soudure
Les matériaux actifs
Exemples
Technologie PolyMUMPS
Micromoteur électrostatique
Technologie SUMMIT V
Micromoteurs
Micro engrenages
Transmissions
Charnières
Micro miroirs mobiles

NANO-SCIENCES ET NANOTECHNOLOGIES
Introduction

Livres et Revues du domaine